نام دستگاه : لایه نشانی ترکیبی پوشش دهی و تبخیر حرارتی
مدل: DST3 T
ساخت شرکت: پوشش های نانو ساختار
دستگاه DST3 T یک سیستم پوششدهی چند منظوره رومیزی است که ترکیبی از تبخیر حرارتی و لایهنشانی اسپاترینگ را در یک دستگاه ارائه میدهد. این سیستم درای سه کاتد و اتاقک بزرگ به قطر 300 میلیمتر است و توسط پمپ توربو مولکولی و پمپ پشتیبان دو مرحلهای خلاء طولانیمدت ایجاد میکند. این دستگاه برای لایهنشانی فلزات، نیمههادیها و دیالکتریکها مناسب بوده و قادر است بین حالت تبخیر حرارتی و اسپاترینگ جابجا شود
**کاربردها**
- ساخت فیلمهای فلزی، نیمههادی و دیالکتریک.
- کاربردهای نانو و میکروالکترونیک، سلولهای خورشیدی و ....
- لایهنشانی زاویه ای (glad sputtering) و پوشش اجزای نوری، حسگرهای فیلم نازک، دستگاههای فیلم نازک مغناطیسی، و کاربردهای حافظهیکمپیوتری.
- آمادهسازی نمونههای SEM و FE SEM با ساختار دانهریز.
تعرفه:
| هر دور لایه نشانی به روش اسپاترینگ با تارگت نقره یا مس | 22،000،000 ریال |
| هر دور لایه نشانی با تحویل تارگت و بوته توسط مراجعه کننده به روش حرارتی | 22،000،000 ریال |
| هر دور لایه نشانی به روش اسپاترینگ با تارگت طلا | 30،000،000 ریال |
در هر دور می توان حداکثر دو زیر لایه به ابعاد ۲.۵ در ۷ سانتیمتر لایه نشانی کرد.
